洁净厂房工艺平面布置应合理，紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。
在满足生产工艺和噪声要求的前提下，空气洁净度等级高的洁净室或清洁区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。
洁净室内要求空气洁净度等级高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。
不同空气洁净度等级房间之间联系频繁时，宜设有防止污染的措施，如缓冲间，气闸室，传递窗等。
应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。
洁净厂房的平面和空间设计，应满足生产工艺和空气洁净度等安装级要求，洁净区，人员净化，物料净化和其他辅助用房应分区布置，同时应考虑生产操作，工艺设备安装和维修，管线布置，气流流型以及净化空调系统各种技术设施的综合协调。
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