射频电源维修注意事项：
在更换完器件后,上电前应对其相关器件进行测量,是否出现短路现象(如整流桥、IGBT管、电源输入输出部分、功率器件输入输出等等);
对于机器工作不稳定或工作时好时坏,可检查箱内主电路的螺钉、接线端子等等是否松动(在运输中有可能会出现)、接线端氧化等,老电源或使用环境差的电源应注意内部是否积了很多灰尘(可用仪器吹掉);如箱内积有很多油污且使用期很长,不可修应报废处理。
在维修时,对于客户要求维修的电源,不能私自拆掉内部扎带、控制板剪掉接线或到处乱接乱改,有可能会造成对整机干扰或性能下降,如退回时,老电源因规范的问题,很多都没有接线图,可能会给维修带来很大难度。
美国SEREN电源维修（SEREN射频匹配器）包括：
R系列射频电源：R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13，R600
HR系列射频电源：HR601、HRL1001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001
